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phs是什么意思（什么是PHS树脂）

2024-12-08 08:45:50 100次浏览

PHS树脂，又叫做聚对羟基苯乙烯树脂、聚羟基苯乙烯树脂，因其在热稳定性、化学稳定性、光敏性和溶解选择性方面表现出色，所以是制作KrF光刻胶的关键原材料。

PHS树脂因其分子量分布指数（PDI）不同，又可分为宽分布PHS树脂和窄分布PHS树脂。窄分布PHS树脂具有较小的分子量分布指数（PDI<1.2），因此其分子量更加一致，有助于提高光刻胶的显影过程中的溶解对比度，从而提升光刻胶的分辨率。所以，窄分布PHS树脂多被用于高分辨率KrF光刻胶的生产制造。宽分布PHS树脂是相对于窄分布PHS树脂而言的，意味着树脂中分子的分子量范围更广，导致树脂的物理和化学性质在不同分子之间的差异较大，宽分布PHS树脂也有助于提升光刻胶的某些性能，例如溶解性和流动性等。一般来说，窄分布PHS树脂价格比宽分布PHS树脂价格高。

作为KrF光刻胶的关键原材料，PHS树脂的市场需求很大。但目前全球KrF光刻胶树脂市场被外资企业垄断，日本曹达占据约36%的市场份额，美国杜邦占据约25%的市场份额，丸善石化（Maruzen Petrochemical）占据约17%的市场份额。剩余22%市场份额被东邦化学、富士胶片、和光纯药、东洋合成等公司占据。

我国在PHS树脂领域起步较晚，技术落后于外资企业。近年来，得益于国家政策和下游客户的支持，中国PHS树脂的技术成熟度不断提高，一些企业已经能够量产。根据公开信息，八亿时空已实现KrF光刻胶用PHS树脂百公斤级别的中试量产，并取得了国内部分光刻胶生产企业窄分布PHS树脂订单，性能指标达到国际先进水平。彤程新材作为国内KrF光刻胶的领导者，其在PHS树脂领域也有所布局。其他如珠海基石、圣泉集团等在PHS树脂领域也都有布局。